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申请/专利权人：英福康公司
摘要：一种用于制作用于监测半导体过程的石英晶体微量天平QCM传感器的方法，包括以下步骤：i提供石英晶体，所述石英晶体被配置成测量沉积在所述石英晶体的表面上的材料的质量；以及ii通过增加每单位面积的表面缺陷的数量来修饰所述石英晶体的所述表面，由此增加用于质量的快速沉积的所述表面面积。所述石英晶体的质量变化被登记为当由交流源施加脉冲时所述石英晶体的谐振频率的改变的结果。表面修饰在暴露于沉积过程时增强QCM传感器的登记响应。
主权项：1.一种用于制作用于监测半导体过程的石英晶体微量天平QCM传感器的方法，包括以下步骤：提供石英晶体，所述石英晶体被配置成测量沉积在所述石英晶体的表面上的质量，所述质量差被登记为所述石英晶体的谐振频率的改变的结果；修饰所述石英晶体的所述表面；其中修饰所述表面的步骤增加用于快速捕获质量的表面缺陷的数量，由此增强所述QCM传感器的登记响应。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英福康公司 具有快速登记响应的石英晶体微量天平（QCM）传感器
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