龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：杭州邦齐州科技有限公司
摘要：本申请公开了一种花苞状纳米结构的制备方法及花苞状纳米结构模板，方法包括：提供基底；在基底表面形成金属膜层；在金属膜层表面形成光刻胶层，光刻胶层为具有环台；对金属膜层进行反应离子束刻蚀处理，刻蚀束流与金属膜层法线之间的角度在75°～89°之间；去除光刻胶层，得到具有周期分布的花苞状纳米结构。花苞状纳米结构模板包括基底以及设置在基底表面的金属膜层，金属膜层上具有周期性设置的花苞状纳米结构。不需要使用各种化学品对带胶结构进行腐蚀操作，既可以避免引入其他不必要缺陷，也可以精简操作步骤，保障实验人员安全。同时，通过控制光刻胶层上的环台布局以及结合刻蚀束流，可以简单便捷的得到具有周期性的花苞状纳米结构。
主权项：1.一种花苞状纳米结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：提供基底，所述基底为经过清洗且无杂质的基底；在所述基底表面形成金属膜层；在所述金属膜层表面形成光刻胶层，所述光刻胶层为具有多个周期性设置的环台；对形成有光刻胶层的所述金属膜层进行反应离子束刻蚀处理，刻蚀束流与所述金属膜层法线之间的角度在75°～89°之间；去除光刻胶层，得到具有周期分布的花苞状纳米结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州邦齐州科技有限公司 一种花苞状纳米结构的制备方法及花苞状纳米结构模板
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号