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申请/专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
摘要：本发明公开了一种适用于半导体腔室设备的MFC快速检验方法，具体步骤如下：S1.在ALD设备的腔室上抽真空至预设值；S2.预设MFC流量为Q1，MFC标定气体为N2，打开MFC阀门对设备的腔室进行充气；S3.待腔室充满气后结束充气，记录充气时间为t，腔室内的压力为p1、温度为T1；S4.通过三维模型，得到设备的腔室体积为V1；S5.计算标况下气体体积为V2；S6.计算标况下气体流量为Q2；S7.对比Q1和Q2，检验MFC的准确性。本发明利用固定的真空腔室对不同气体MFC进行快速检验，验证MFC的准确性。
主权项：1.一种适用于半导体腔室设备的MFC快速检验方法，其特征在于，具体步骤如下：S1.在ALD设备的腔室上抽真空至预设值；S2.预设MFC流量为Q1，MFC标定气体为N2，打开MFC阀门对设备的腔室进行充气；S3.待腔室充满气后结束充气，记录充气时间为t，腔室内的压力为p1、温度为T1；S4.通过三维模型，得到设备的腔室体积为V1；S5.计算标况下气体体积为V2；S6.计算标况下气体流量为Q2；S7.对比Q1和Q2，检验MFC的准确性。
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