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申请/专利权人：湘潭宏大真空技术股份有限公司
摘要：本发明公开了一种真空镀膜室，包括用于容纳产品的镀膜腔室，镀膜腔室具有供产品进出的出入口和用于通入工艺气体的进气孔，镀膜腔室内设有用于遮挡进气孔的遮挡件和驱动遮挡件运动以调整遮挡位置的驱动装置，通过调整遮挡件的遮挡位置使遮挡件在遮挡进气孔和不遮挡进气孔的状态切换。该真空镀膜室具有使用灵活性高、可提高镀膜质量、结构简单、成本低、易于实施应用等优点。
主权项：1.一种真空镀膜室，包括用于容纳产品的镀膜腔室（1），所述镀膜腔室（1）具有供产品进出的出入口（11）和用于通入工艺气体的进气孔（12），其特征在于：所述镀膜腔室（1）内设有用于遮挡所述进气孔（12）的遮挡件（2）和驱动所述遮挡件（2）运动以调整遮挡位置的驱动装置（3），通过调整所述遮挡件（2）的遮挡位置使遮挡件（2）在遮挡所述进气孔（12）和不遮挡所述进气孔（12）的状态切换。
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权利要求：
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