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一种绝缘紧固组件及MOCVD加热器 

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申请/专利权人:楚赟精工科技(上海)有限公司

摘要:本发明提供了一种绝缘紧固组件,用以适配并紧固MOCVD加热器中层叠设置的第一基板和第二基板,包括:连接件,依次贯穿所述第一基板和第二基板;绝缘套管,套设于所述连接件,用于间隔所述第一基板和第二基板,所述绝缘套管包括贯穿且凸出所述第一基板和或所述第二基板的突出端部,及位于所述第一基板和第二基板之间的支撑部,所述支撑部的外径大于所述突出端部的外径;锁紧件,套设于所述连接件的两端,用于沿所述连接件的方向移动调节以固定所述第一基板和所述第二基板。本发明可以在保证强度的同时提高电气隔离安全性,尤其适用于结构紧凑、安装空间小的加热器系统。

主权项:1.一种绝缘紧固组件,用以适配并紧固MOCVD加热器中层叠设置的第一基板和第二基板,其特征在于,包括:连接件,依次贯穿所述第一基板和第二基板;绝缘套管,套设于所述连接件,用于间隔所述第一基板和第二基板,所述绝缘套管包括贯穿且凸出所述第一基板和或所述第二基板的突出端部,及位于所述第一基板和第二基板之间的支撑部,所述支撑部的外径大于所述突出端部的外径;锁紧件,套设于所述连接件的两端,用于沿所述连接件的方向移动调节以固定所述第一基板和所述第二基板。

全文数据:

权利要求:

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