龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
摘要：本申请提供一种抛光垫修整装置、最终抛设备及抛光垫修整方法，属于硅片抛光技术领域；包括：悬臂及承载机构，承载机构包括第一安装座及修整件，第一安装座具有至少一移动自由度，第一安装座具有多个；修整件对应安装于所述第一安装座，修整件具有一修整面，修整面可与抛光垫的抛光面至少部分抵接；其中，承载机构具有第一状态及第二状态，当承载机构处于第一状态时，多个第一安装座相互抵接；当承载机构位于第二状态时，至少一第一安装座移动并远离其余第一安装座以形成至少一排液通道；解决了如何提高修整装置的修整精度的技术问题，达到提高修整装置的修整精度的技术效果。
主权项：1.一种抛光垫修整装置，用于最终抛过程中抛光垫（710）表面的修整，其特征在于，包括：悬臂（100），所述悬臂（100）包括一旋转轴（110），所述旋转轴（110）具有沿其中心转动的转动自由度；承载机构（200），所述承载机构（200）与所述旋转轴（110）连接，所述承载机构（200）包括：第一安装座（210），所述第一安装座（210）具有至少一移动自由度，所述第一安装座（210）具有多个；修整件（220），所述修整件（220）对应安装于所述第一安装座（210），所述修整件（220）具有一修整面（221），至少部分所述修整面（221）可与抛光垫（710）的抛光面（711）抵接；其中，所述承载机构（200）具有第一状态及第二状态，当所述承载机构（200）处于第一状态时，多个所述第一安装座（210）相互抵接；当所述承载机构（200）位于第二状态时，至少一所述第一安装座（210）移动并远离其余第一安装座（210）以形成至少一排液通道（300）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江求是半导体设备有限公司 浙江晶盛机电股份有限公司 一种抛光垫修整装置、最终抛设备及修整方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号