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申请/专利权人：中北大学
摘要：本发明公开一种芯片级弱磁信息探测的系综NV色心金刚石传感器，涉及纳米技术与量子技术领域，该传感器包括：弱磁信息感知结构和数字化控制电路。弱磁信息感知结构包括：上层封装壳、弱磁信息感知结构层和下层封装壳。弱磁信息感知结构层包括：收集结构、金刚石微波天线光栅一体化结构、PCB印刷电路板和光电探测器。数字化控制电路包括：微波信号发生模块，用于将微波信号发送至金刚石微波天线光栅一体化结构；光电探测器，用于采集金刚石微波天线光栅一体化结构产生的荧光信号，并将荧光信号转换为电流信号；电流信号用于计算磁信号。本发明将MEMS工艺与系综NV色心金刚石弱磁测量技术相结合，能够实现微弱磁场的精准探测。
主权项：1.一种芯片级弱磁信息探测的系综NV色心金刚石传感器，其特征在于，所述传感器包括：弱磁信息感知结构和数字化控制电路；所述弱磁信息感知结构包括：上层封装壳、弱磁信息感知结构层和下层封装壳；所述弱磁信息感知结构层包括：收集结构、金刚石微波天线光栅一体化结构、PCB印刷电路板和光电探测器；其中，所述收集结构用于固定所述金刚石微波天线光栅一体化结构；所述金刚石微波天线光栅一体化结构与所述PCB印刷电路板采用倒装工艺结合；所述上层封装壳和所述下层封装壳均通过热压缩工艺与组合件结合；所述组合件为采用倒装工艺，将所述金刚石微波天线光栅一体化结构与所述PCB印刷电路板结合后形成的器件；所述光电探测器固定在所述下层封装壳上；所述数字化控制电路包括：微波信号发生模块；所述微波信号发生模块，与所述金刚石微波天线光栅一体化结构连接，用于将微波信号发送至所述金刚石微波天线光栅一体化结构；所述光电探测器，用于采集荧光信号，并将所述荧光信号转换为电流信号；所述荧光信号为微波信号发送至所述金刚石微波天线光栅一体化结构后产生的信号；所述电流信号用于计算磁信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中北大学 一种芯片级弱磁信息探测的系综NV色心金刚石传感器
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