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申请/专利权人：温州大学
摘要：本发明属于光电探测器技术，具体涉及一种光电探测器的光捕获模块及光电探测器。其中光捕获模块，其具有平面底部，其上表面为曲面且曲面上具有凸型的微柱阵列，其独特的结构特点可以有效地减少表面反射和投影面积对入射方向的依赖，从而显著提高其采光能力。加有本发明提供的光捕获模块的光电探测器的输出光电流可以显著提高，可用于开发用于亮度感应的高性能光电探测器。
主权项：1.一种光电探测器的光捕获模块，其特征在于：其具有平面底部，其上表面为曲面且曲面上具有凸型的微柱阵列；其制备方法包括以下步骤：（1）制备刚性模板，刚性模板上具有凹陷的微柱阵列；（2）在步骤（1）制备的刚性模板具有凹陷的微柱阵列的表面上制备柔性的具有粘附性的聚二甲基硅氧烷薄膜；（3）将弹性球放置在步骤（2）柔性的具有粘附性的聚二甲基硅氧烷薄膜上，对弹性球施加外部压力，将弹性球挤压成扁平形状，使球的平面部分与聚二甲基硅氧烷粘附膜接触，进一步固化；然后消除外部压力，扁平球恢复，聚二甲基硅氧烷膜的结合部分变形为球形穹顶，凸型的微柱阵列被转移到球表面，从而制备了具有凸型的微柱阵列的弯曲型聚二甲基硅氧烷膜；（4）将弹性体预聚物倒入容器中，然后插入所制备的具有凸型的微柱阵列的弯曲型聚二甲基硅氧烷膜，凸面朝向弹性体预聚物，固化后，将具有凸型的微柱阵列的弯曲型聚二甲基硅氧烷膜剥离，得到弯曲型弹性体模板；随后在弯曲型弹性体模板中注入二甲基硅氧烷及其交联剂得到具有平面底部和凸型的微柱阵列的弯曲型聚二甲基硅氧烷块，即为光电探测器的光捕获模块；步骤（1）采用无掩模光刻技术在镀铬熔融玻璃上制备了六边形光刻胶微柱阵列，然后对固体微柱烘烤使其熔化成液体微滴，冷却至室温，得到六边形弯曲微透镜阵列微柱阵列模板；然后将模板预聚物及其交联剂浇注在六边形弯曲微透镜阵列微柱阵列模板上，固化后从六边形弯曲微透镜阵列微柱阵列模板上分离，得到刚性模板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 温州大学 一种光电探测器的光捕获模块及光电探测器
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