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申请/专利权人：吉林华微电子股份有限公司
摘要：本申请提供一种功率器件雪崩耐量测试系统及测试方法，涉及半导体器件测试技术领域。所述系统包括功率器件测试电路、电信号采集电路、雪崩耐量计算子系统及为所述待测试功率器件提供可调工作环境温度的环境温度控制子系统。电信号采集电路与功率器件测试电路中的待测试功率器件连接。雪崩耐量计算子系统与电信号采集电路连接，用于根据电信号采集电路采集的压降及电流计算得到待测试功率器件发生二次击穿所需的雪崩耐量。如此，通过改变待测试功率器件的工作环境温度，对不同工作环境温度下待测试功率器件的雪崩耐量的进行测试，以便对待测试功率器件的雪崩耐量进行比对和分析。
主权项：1.一种功率器件雪崩耐量测试系统，其特征在于，包括：功率器件测试电路、电信号采集电路、雪崩耐量计算子系统及环境温度控制子系统；所述电信号采集电路与所述功率器件测试电路中的待测试功率器件连接，用于采集所述待测试功率器件在导通时的压降及电流；所述雪崩耐量计算子系统与所述电信号采集电路连接，用于根据所述电信号采集电路采集的压降及电流计算得到所述待测试功率器件发生二次击穿所需的雪崩耐量；所述环境温度控制子系统为所述待测试功率器件提供可调的工作环境温度；所述环境温度控制子系统包括温控箱，所述待测试功率器件设置在所述温控箱内；其中，所述功率器件测试电路包括：直流电源、待测试功率器件、驱动电压提供子电路及导通控制子电路；所述待测试功率器件包括控制电极、第一电极和第二电极，所述控制电极与所述驱动电压提供子电路连接、所述第一电极与所述直流电源的正极连接、所述第二电极与所述直流电源的负极分别接地；所述直流电源为所述待测试功率器件提供直流偏置电压，所述驱动电压提供子电路为所述待测试功率器件提供驱动电压；其中，所述待测试功率器件包括绝缘栅双极型晶体管、金属-氧化物半导体场效应晶体管及双极结型晶体管。
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权利要求：
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