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一种IGBT键合机DBC吸附固定装置 

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申请/专利权人:合肥中恒微半导体有限公司

摘要:本发明公开了一种IGBT键合机DBC吸附固定装置,包括两块固定板、DBC料板以及安置于DBC料板上的多块DBC基板,两块所述固定板之间水平设置有可竖直升降活动的DBC定位板,所述DBC定位板的下方相对平行设置有可竖直升降活动的吸盘组件,所述DBC料板活动设置于DBC定位板和吸盘组件之间的平面上;所述吸盘组件是由底板上表面设置有与DBC基板相对应的多个吸附单元构成,所述吸附单元通过气孔与底板内部的气路连通,且气路的出口通过支管和真空电磁阀外接真空抽吸设备,且真空电磁阀上设置有真空压力表,所述真空压力表与设备控制器电性连接。该装置,可实现对于待键合加工的DBC基板进行快速准确的定位,定位效率高,自动化程度高,从而加快了生产效率。

主权项:1.一种IGBT键合机DBC吸附固定装置,包括两块平行设置的固定板1、通过传送带在固定板1之间输送的DBC料板2以及安置于上的多块DBC基板3,其特征在于:两块所述固定板1之间水平设置有可竖直DBC料板2升降活动的DBC定位板5,所述DBC定位板5的下方相对平行设置有可竖直升降活动的吸盘组件4,所述DBC料板2活动设置于DBC定位板5和吸盘组件4之间的平面上;所述吸盘组件4是由底板41上表面设置有与DBC基板3相对应的多个吸附单元42构成,所述吸附单元42通过气孔6与底板41内部的气路7连通,且气路7的出口通过支管和真空电磁阀8外接真空抽吸设备,且真空电磁阀8上设置有真空压力表9,所述真空压力表9与设备控制器电性连接;所述吸附单元42上开设有多条相互连通的沟槽10,且气孔6开设于沟槽10的底部;所述DBC定位板5是由平板51内侧开设有与DBC基板3一一对应的多个阶梯槽52构成,当DBC定位板5压持到DBC料板2上时,阶梯槽52压持到对应的DBC基板3上端的边沿;两块所述固定板1的相对侧和远离侧均对称固定设置有顶升气缸12,且两组顶升气缸12分别与DBC定位板5和吸盘组件4固定连接;所述DBC定位板5的下端面上固定安装有套体13,所述套体13的内侧设置有弹簧14,所述DBC定位板5上插设有连接螺栓15,且DBC定位板5对应的顶升气缸12的杆端固定安装有支撑底座11,所述连接螺栓15穿过套体13和弹簧14与支撑底座11上的螺纹孔螺纹连接,且弹簧14的下端压持于支撑底座11的上端面。

全文数据:

权利要求:

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