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申请/专利权人：中芯智达半导体科技(上海)有限公司
摘要：本申请提供一种基于QT平台模拟晶圆机器人移动范围的方法、装置、介质及终端，本发明利用QT表现力强以及跨平台的特点，通过制作应用程序的方式，为用户提供一个模拟晶圆机器人各种运动场景的方式；同时为向客户演示设备的具体应用业务场景提供较大的便利，降低了对业务人员专业技术能力的要求，有较高的实用价值。采用仿真虚拟环境和真实运动控制算法对接，等于提供了无限的场地，可以满足晶圆机器人在不同环境条件下的移动范围碰撞检测测试需求。
主权项：1.一种基于QT平台模拟晶圆机器人移动范围的方法，其特征在于，包括：构建晶圆机器人的2D形态模型和工作场景模型；采用D-H建模方法建立晶圆机器人的运动学参数模型；利用QT平台中的UI界面构建人机交互界面，以供通过所述人机交互界面或接入外部设备控制晶圆机器人的方式进行晶圆机器人仿真演示并控制晶圆机器人调整动作；在所述工作场景模型中预设一安全操作区域，以控制晶圆机器人在所述安全操作区域内按照预设轨迹移动，并在晶圆机器人的末端执行器的操作过程中对晶圆机器人进行碰撞检测；其中，所述碰撞检测的方式包括：晶圆机器人的末端执行器根据预设轨迹朝目标位置移动，并分别在x轴、y轴及z轴达到靠近目标位置的临界接触的预备位时停止当前动作并进行安全确认，在确认安全后对晶圆机器人释放操作指令，以令末端执行器到达目标位置进行相应操作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯智达半导体科技(上海)有限公司 基于QT平台模拟晶圆机器人移动范围的方法、装置、介质及终端
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