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申请/专利权人：浙江联康沃源电子股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种晶圆片表面瑕疵检测仪，包括底座，其特征在于，所述底座上安装有支架一，所述支架一上通过可调组件连接有安装件，所述安装件上安装有照射灯，所述底座上安装有支架二，所述支架二上竖直转动设置有转轴，所述转轴上连接有用于放置晶圆片的放置盘，且放置盘呈倾斜布置，所述放置盘上具有呈均匀布置的三个弹性压块，所述支架二上还设置有能驱使转轴往复转动的驱动结构。
主权项：1.一种晶圆片表面瑕疵检测仪，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）上安装有支架一（13），所述支架一（13）上通过可调组件连接有安装件（11），所述安装件（11）上安装有照射灯（10），所述底座（1）上安装有支架二（2），所述支架二（2）上竖直转动设置有转轴（9），所述转轴（9）上连接有用于放置晶圆片的放置盘（7），且放置盘（7）呈倾斜布置，所述放置盘（7）上具有呈均匀布置的三个弹性压块（14），所述支架二（2）上还设置有能驱使转轴（9）往复转动的驱动结构。
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权利要求：
百度查询： 浙江联康沃源电子股份有限公司 一种晶圆片表面瑕疵检测仪
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