龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：湖北江城芯片中试服务有限公司
摘要：本申请实施例提供一种晶舟底座和半导体设备，其中，晶舟底座包括：盖体，盖体的上表面用于承载晶舟；固定板，位于盖体的正下方，至少用于固定盖体底部的多个螺丝；每一螺丝用于调节盖体上对应区域的高度；检测装置，位于盖体与固定板之间，用于实时检测盖体上每一区域的实际高度；控制机构，与检测装置连接，用于根据盖体上每一区域的实际高度，确定多个区域之间的实际高度的差值，并在多个区域之间的实际高度的差值大于设定值时，确定盖体上的目标待调节区域；调节装置，与控制机构连接，用于对目标待调节区域底部的螺丝进行调节，以使得盖体处于水平状态。
主权项：1.一种晶舟底座，其特征在于，包括：盖体，所述盖体的上表面用于承载晶舟；固定板，位于所述盖体的正下方，至少用于固定所述盖体底部的多个螺丝；每一所述螺丝用于调节所述盖体上对应区域的高度；检测装置，位于所述盖体与所述固定板之间，用于实时检测所述盖体上每一区域的实际高度；控制机构，与所述检测装置连接，用于根据所述盖体上每一区域的实际高度，确定所述多个区域之间的实际高度的差值，并在所述多个区域之间的实际高度的差值大于设定值时，确定所述盖体上的目标待调节区域；调节装置，与所述控制机构连接，用于对所述目标待调节区域底部的螺丝进行调节，以使得所述盖体处于水平状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北江城芯片中试服务有限公司 晶舟底座和半导体设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号