龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京科技大学
摘要：本发明提供了一种埋沟式金刚石器件的制备方法，属于超宽禁带半导体器件领域。其特征在于，包括以下步骤：1）设计器件结构，清洗金刚石衬底；2）在金刚石衬底上制备多层石墨烯结构；3）在石墨烯层上外延生长金刚石层；4）镀制源、漏、栅电极，完成器件制备。本发明将多层石墨烯结构作为隐埋沟道，外延金刚石层作为部分栅氧，具有提高金刚石器件沟道迁移率、击穿电压、增大输出功率的优点。
主权项：1.一种埋沟式金刚石器件制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）设计器件结构，清洗金刚石衬底；2）在金刚石衬底上制备多层石墨烯结构；3）在石墨烯层上外延生长金刚石层；4）镀制源、漏、栅电极，完成器件制备。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京科技大学 一种埋沟式金刚石器件制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号