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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种计算机实施方法，所述计算机实施方法产生控制动作以用于诸如通过将所述控制动作传输到生产系统的控制系统来控制所述生产系统。所述计算机实施方法包括：通过存储器单元接收表征所述生产系统的目前状态的观测数据集合；通过所述存储器单元的第一神经网络模块来处理基于所述观测数据的至少一部分的输入，以产生经编码的观测数据；通过所述存储器单元的第二神经网络模块使用基于所述观测数据的至少一部分的输入来更新存储于所述第二模块的内部存储器中的历史信息；基于所述经编码的观测数据和经更新的历史信息而获得状态数据；以及基于所述状态数据而产生一个或更多个控制动作。
主权项：1.一种产生用于控制生产系统的一个或更多个控制动作的计算机实施方法，所述计算机实施方法包括：通过存储器单元接收表征所述生产系统的目前状态的观测数据；通过所述存储器单元的第一神经网络模块来处理输入至所述第一神经网络模块的基于所述观测数据的至少一部分的输入，以产生经编码的观测数据；通过所述存储器单元的第二神经网络模块，使用输入至所述第二神经网络模块的基于所述观测数据的至少一部分的输入来更新存储于所述第二神经网络模块的内部存储器中的历史信息；基于所述经编码的观测数据和经更新的历史信息而获得状态数据；以及基于所述状态数据而产生用于所述生产系统的控制系统的一个或更多个控制动作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 用于控制生产系统的方法及用于热控制环境的至少一部分的方法
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