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申请/专利权人：广州市尤特新材料有限公司
摘要：本发明属于半导体材料技术领域，本发明具体公开了一种氧化锌锡靶材及其制备方法，本发明首先将氧化锌、氧化锡、锌粉、锡粉混合均匀，在混合粉体中加入锌粉和锡粉，能够起到活化作用，有效的提高混合粉体的活性，提高整体的稳定性，促进晶粒更加细化，提高粉体的致密性；本发明分别将氧化锌晶须、石墨烯通过溶液的形式引入到混合粉体中，十二烷基苯磺酸钠、聚乙二醇、聚乙烯吡咯烷酮、羧甲基纤维素以及硫酸和磷酸能够更进一步提高体系的活性，提高混合粉体的可塑性，有效的抑制晶粒长大，促进形成更加致密和尺寸均匀的结构，降低孔隙率，提高载流子的迁移率，提升导电速度和效率，有效的提高靶材的导电性能。
主权项：1.一种氧化锌锡靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将氧化锌、氧化锡、锌粉、锡粉混合均匀，将混合粉体经过等离子体处理，得到前驱体；（2）将氧化锌晶须、十二烷基苯磺酸钠、聚乙二醇加入到硫酸溶液中，搅拌均匀，得到第一改性液；（3）将石墨烯、聚乙烯吡咯烷酮、羧甲基纤维素加入磷酸溶液中，分散均匀，得到第二改性液；（4）将前驱体、第一改性液加入到第二改性液中，搅拌均匀，超声处理，干燥，模压成型，烧结，得到氧化锌锡靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州市尤特新材料有限公司 一种氧化锌锡靶材及其制备方法
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