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申请/专利权人：无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司

摘要：本发明涉及射频去胶技术领域，公开了一种用于半导体材质的射频去胶机，包括机器本体，安装于机器本体上的进气装置与真空泵，机器本体内设置有真空仓，并转动安装有仓门，真空仓内滑动安装有若干个电极板，真空仓的两侧内壁上对称固定安装有若干个用于对电极板进行限位的滑轨，每个所述滑轨内均滑动安装有磁块，此射频去胶机，利用电极片插入滑轨时推动磁块运动，磁块带动滑块以及其上第一挡板运动，使第一挡板上的第一气孔运动至进气管与进气口之间，对应电极片两侧的进气口同步打开，第一楔形块推动第二楔形块以及第二挡板运动，使第二挡板上的第二气孔运动至抽气管与抽气口之间，真空泵通过对应抽气口能够及时将对应电极板上产生的废弃抽走。

主权项：1.一种用于半导体材质的射频去胶机，包括机器本体（1），固定安装于所述机器本体（1）上的进气装置（2）与真空泵（3），其特征在于：所述机器本体（1）内设置有真空仓（4），并转动安装有仓门（5），所述真空仓（4）内滑动安装有若干个电极板（8），所述真空仓（4）的两侧内壁上对称固定安装有若干个用于对电极板（8）进行限位的滑轨（16），每个所述滑轨（16）内均滑动安装有磁块（19），每个所述电极板（8）上均固定安装有若干个用于连通电路的插头（10），所述真空仓（4）的正面内壁上设置有若干个与插头（10）配合的插口（15）；所述真空仓（4）两侧内壁上对称设置有若干个进气口（21），所述进气口（21）与滑轨（16）一一对应，并位于滑轨（16）上方，每个所述进气口（21）均通过进气管（23）与进气装置（2）的出气端连通，所述真空仓（4）的正面内壁上设置有若干个抽气口（22），所述抽气口（22）与电极板（8）一一对应，并与对应的进气口（21）位于同一水平线，每个所述抽气口（22）均通过抽气管（24）与真空泵（3）的进气端连通；每个所述进气口（21）与进气管（23）连通处均滑动安装有第一挡板（26），每个所述第一挡板（26）上均设置有用于使气体通过的第一气孔（27），每个所述第一挡板（26）上均固定安装有受磁块（19）磁力吸引的滑块（33），每个所述抽气口（22）与抽气管（24）连通处均滑动安装有第二挡板（28），每个所述第二挡板（28）上均设置有用于使气体通过的第二气孔（29），所述机器本体（1）内设置有若干个装置槽（25），所述装置槽（25）与电极板（8）一一对应，每个所述装置槽（25）内均滑动安装有相互配合的第一楔形块（30）与第二楔形块（31），每个所述第一楔形块（30）均与对应的第一挡板（26）固定连接，每个所述第二楔形块（31）均与对应的第二挡板（28）固定连接。

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