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一种基于法珀干涉的测距方法 

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申请/专利权人:四川欧瑞特光电科技有限公司

摘要:本发明公开了一种基于法珀干涉的测距方法,属于激光测量技术领域,解决了测距方法测量精度不足的问题,本发明包括如下步骤:测量系统通过光纤连接到测头,测距系统设置出光,经过测头发射出准直后的测量光照射至被测物体表面,经被测物体表面反射后,传输回测量系统,利用内部法珀干涉计算条纹,获得光程差,再计算测头到被测表面的直线距离,将计算的结果数据传输到计算机,进行后续数据处理。本发明的方法用于面型测量和测距反馈,测量范围更广,精度更高。

主权项:1.一种基于法珀干涉的测距方法,其特征在于,包括如下步骤:测量系统通过光纤连接到测头,测距系统设置出光,经过测头发射出准直后的测量光照射至被测物体表面,经被测物体表面反射后,传输回测量系统,利用内部法珀干涉计算条纹,获得光程差,再计算测头到被测表面的直线距离,将计算的结果数据传输到计算机,进行后续数据处理。

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