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功率半导体器件、功率模块、车辆及制备方法 

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申请/专利权人:比亚迪半导体股份有限公司

摘要:本发明公开了一种功率半导体器件、功率模块、车辆及制备方法,功率半导体器件包括:功能组件,功能组件包括:基底层、第一类型层、导电导体和集电极层;保护组件,保护组件设置于第一区域,保护组件包括:第二类型层和第三类型层,第二类型层通过第一类型层以及基底层与集电极层电连接;电连接层,电连接层覆盖第三类型层和部分导电导体。由于沟槽和绝缘介质层的设置实现了功能组件和保护组件独立,并通过电连接层将功能组件的栅极和保护组件的阴极相连,以及功能组件的集电极层和保护组件的阳极相连,使得功率半导体器件集成保护组件,具备有抑制浪涌的能力。

主权项:1.一种功率半导体器件,其特征在于,包括:功能组件,所述功能组件包括:基底层、第一类型层、导电导体和集电极层,所述基底层的一侧设置有多个沟槽,所述多个沟槽中的每一个均设置有绝缘介质层,相邻三个所述沟槽之间设置有第一区域和第二区域,所述绝缘介质层覆盖在所述沟槽的内壁,所述导电导体在所述绝缘介质层之上并填充所述沟槽,所述集电极层设置于所述基底层的另一侧,所述第一类型层设置于所述第一区域和所述第二区域;保护组件,所述保护组件设置于所述第一区域,所述保护组件包括:第二类型层和第三类型层,所述第二类型层设置于所述第三类型层和所述第一类型层之间,所述第三类型层设置于所述第二类型层背离所述第一类型层的一侧,所述第二类型层通过所述第一类型层以及所述基底层与所述集电极层电连接;电连接层,所述电连接层覆盖所述第三类型层和部分所述导电导体。

全文数据:

权利要求:

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