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申请/专利权人：株式会社堀场STEC
申请日：2024-02-27
公开（公告）日：2024-08-30
公开（公告）号：CN118564832A
专利技术分类：.用于控制、指示或观测产品的输送[2006.01]
专利摘要：本发明提供浓度控制装置、原料气化系统、浓度控制方法和存储有浓度控制程序的存储介质。本发明能够进行快速且抑制了超调的浓度控制，是用于原料气化系统100的浓度控制装置10，所述原料气化系统100向收容于气化容器2内的液体或固体的原料导入载气进行气化，并供给由此产生的原料气体，其包括：流量控制设备5，控制载气的流量；浓度测定部6，测定原料气体的浓度；以及流量控制部11，基于原料气体的目标浓度值和浓度测定部6的测定浓度值，由模型预测控制来控制向流量控制设备5输入的流量操作量。
专利权项：1.一种浓度控制装置，用于原料气化系统，所述原料气化系统向收容在气化容器内的液体或固体的原料导入载气进行气化，并供给由此产生的原料气体，所述浓度控制装置的特征在于，包括：流量控制设备，控制所述载气的流量；浓度测定部，测定所述原料气体的浓度；以及流量控制部，基于所述原料气体的目标浓度值和所述浓度测定部的测定浓度值，由模型预测控制来控制向所述流量控制设备输入的流量操作量。
百度查询： 株式会社堀场STEC 浓度控制装置、原料气化系统、浓度控制方法和存储有浓度控制程序的存储介质
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