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申请/专利权人：武汉飞恩微电子有限公司

摘要：一种力敏感元件，包括：环形或圆形的受力件，具有第一受力部、第二受力部以及朝上凸出于第一受力部的一凸台；凸台为与受力件形状相对应的环形或圆形；凸台的外壁沿径向朝外凸出而形成的周向上被隔开的多个半岛状的凸出部；在受力件的整个周向上间隔地且绝缘地附着于受力件的上侧表面并位于第一受力部的径向内侧的四组应变电阻，每组应变电阻数量相同且具有至少一个应变电阻,第二组应变电阻和四组应变电阻的应变电阻一一对应地分布由凸台的外壁沿径向朝外凸出而形成的周向上被隔开的多个半岛状的凸出部之上侧表面。通过周向间隔分布的凸出部，能够使受力件的合适区域具有负的应力，以提高惠斯通桥的测量精度。

主权项：1.一种力敏感元件11，其特征在于，包括：轴向沿上下方向设置且为环形或圆形的受力件11，具有设置于其上侧的环形的第一受力部111、设置于其下侧的环形的第二受力部112以及朝上凸出于第一受力部111的一凸台115；第二受力部112同心地设置于第一受力部111径向外侧及凸台115的径向外侧，凸台115为与受力件11形状相对应的环形或圆形；所述凸台115的外壁沿径向朝外凸出而形成的周向上被隔开的多个半岛状的凸出部113；在受力件11的整个周向上间隔地且绝缘地附着于所述受力件11的上侧表面并位于所述第一受力部111的径向内侧的四组应变电阻，每组应变电阻数量相同且具有至少一个应变电阻，第一组应变电阻11a、11c和第三组应变电阻11b、11d周向间隔地分布于朝上凸出于第一受力部111的一凸台115的上侧表面的第一环形区域Z1，第二组应变电阻22a、22c和第四组应变电阻22b、22d周向间隔地分布于受力件11的上侧表面的第二环形区域Z2，所述第二环形区域Z2位于所述第一环形区域Z1的外侧；第二组应变电阻22a、22c和四组应变电阻22b、22d的应变电阻一一对应地分布由所述凸台115的外壁沿径向朝外凸出而形成的周向上被隔开的多个半岛状的凸出部113之上侧表面；其中，所述四组应变电阻分别对应地组合为惠斯通全桥的四个桥臂电阻R1、R2、R3、R4，第一组应变电阻和第三组应变电阻对应的桥臂电阻位于相对一侧的两个桥臂上；每组应变电阻单独地或以并联、串联或混合串并联的方式组合成对应的桥臂电阻。

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