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申请/专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要：本发明提供了一种位置检测装置、位置检测方法及光刻设备，所述位置检测装置包括照明成像单元、投影单元、检测成像单元、四象限探测单元、信号处理单元及光路摆动单元，照明成像单元发射的光束经投影单元投射于待检测平面，待检测平面的反射光经检测成像单元后在四象限探测单元上形成像面光斑；其中，光路摆动单元设于照明成像单元至四象限探测单元之间的光路上，以预设频率摆动以使像面光斑往复移动，并向信号处理单元输出具有预设频率的参考信号，信号处理单元利用电信号及参考信号获得待检测平面的位置。本发明所提供的装置及方法，不仅在结构上较为简单，而且还可具有较高信噪比以提高位置检测的精度。
主权项：1.一种位置检测装置，用于检测待检测平面在其法向的位置，其特征在于，包括照明成像单元、投影单元、检测成像单元、四象限探测单元、信号处理单元及光路摆动单元，所述照明成像单元发射的光束经所述投影单元投射于所述待检测平面，所述待检测平面的反射光经所述检测成像单元后在所述四象限探测单元上形成像面光斑，所述信号处理单元与所述四象限探测单元连接并获得所述像面光斑的电信号；其中，所述光路摆动单元设于所述照明成像单元至所述四象限探测单元之间的光路上，以预设频率摆动以使所述像面光斑往复移动，并向所述信号处理单元输出具有所述预设频率的参考信号，所述信号处理单元利用所述电信号及所述参考信号获得所述待检测平面的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 位置检测装置、位置检测方法及光刻设备
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