龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
摘要：本发明公开了一种冷阱清理装置及半导体处理设备的排气系统，包括：隔离管，设于冷阱内的管壁内侧上，并对所述冷阱的管壁进行完全遮挡；环形贯通槽，设于所述冷阱的封闭端面上；驱动机构，设于所述冷阱外部，并与所述隔离管连接，用于驱动所述隔离管在所述贯通槽中移动；所述驱动机构驱动所述隔离管沿所述贯通槽向所述冷阱的端面以外移动时，所述贯通槽的内侧壁对所述隔离管的内壁产生刮擦作用，将进入所述冷阱并沉积在所述隔离管内壁上的副产物的膜层刮落。本发明无需对冷阱进行拆除，即可实现在线清理，提高了设备运行时间。
主权项：1.一种冷阱清理装置，其特征在于，包括：隔离管，设于冷阱内的管壁内侧上，并对所述冷阱的管壁进行完全遮挡；环形贯通槽，设于所述冷阱的封闭端面上；驱动机构，设于所述冷阱外部，并与所述隔离管连接，用于驱动所述隔离管在所述贯通槽中移动；所述驱动机构驱动所述隔离管沿所述贯通槽向所述冷阱的端面以外移动时，所述贯通槽的内侧壁对所述隔离管的内壁产生刮擦作用，将进入所述冷阱并沉积在所述隔离管内壁上的副产物的膜层刮落。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 一种冷阱清理装置及半导体处理设备的排气系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号