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申请/专利权人：珠海基石科技有限公司
摘要：本申请实施例提供了图案化组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法。上述图案化组合物包括金属团簇、捕捉剂以及溶剂；所述捕捉剂包括自由基捕捉剂、光捕捉剂和电子捕捉剂中的一种或多种；所述金属团簇包括有机金属氧团簇和或有机锡簇；该图案化组合物的曝光性能较好，曝光后形成的图案的均一性较优，可应用于高精度半导体器件的制备。
主权项：1.一种图案化组合物，其特征在于，包括金属团簇、捕捉剂以及溶剂；所述捕捉剂包括自由基捕捉剂、光捕捉剂和电子捕捉剂中的一种或多种；所述金属团簇包括有机锡簇；所述有机锡簇包括化学结构如式1和或式2所示的结构： 式1， 式2；其中，X为O或S或NH，R为取代或非取代或主链上含有杂原子的烷基、取代或非取代的环烷基，R’为取代或非取代或主链上含有杂原子的烷基、或取代或非取代的芳基。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海基石科技有限公司 图案化组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法
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