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申请/专利权人：淮安捷泰新能源科技有限公司
摘要：本实用新型涉及硅片技术领域，解决了传统硅片的喷淋清洗方式针对杂质附着性较强的硅片清洗效果不佳的问题。具体为一种硅片清洗装置，包括：装置本体，其承载待清洗硅片以及作用于硅片建立清洗作业的组件，其包括有用于围设搭载空间的承载外体，承载主体内转动的安装有形成清洗作业空间的承载内体；搭载件，其安装承载外体一端以向承载内体内提供或输出作业所需，其包括有安装于承载外体上端以输送或回抽清洗液体的搭载水箱，搭载水箱内外均设置有用于衔接承载内体的作业管道，承载外体侧壁上转动的安装有延伸于承载内体以形成喷淋面的喷淋清洗件。本实用新型增强了硅片的清洗效果。
主权项：1.一种硅片清洗装置，其特征在于，包括：装置本体1，其承载待清洗硅片以及作用于硅片建立清洗作业的组件，其包括有用于围设搭载空间的承载外体11，承载主体内转动的安装有形成清洗作业空间的承载内体12；搭载件2，其安装承载外体11一端以向承载内体12内提供或输出作业所需，其包括有安装于承载外体11上端以输送或回抽清洗液体的搭载水箱21，搭载水箱21内外均设置有用于衔接承载内体12的作业管道22。
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权利要求：
百度查询： 淮安捷泰新能源科技有限公司 一种硅片清洗装置
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