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申请/专利权人：长沙里妍环保科技有限公司
摘要：本实用新型公开晶圆硅片定位设备技术领域，具体的说是一种晶圆硅片用定位装置，包括底座，所述底座顶端表面开设有可用于调节的滑孔，且滑孔有四组，所述滑孔内侧滑动安装有可用于调节的滑座，且底座内侧转动安装有可用于传动的盘体；当需要对晶圆硅片进行定位时，能够使得底座内侧的伺服电机运作，伺服电机运作方便在减速器A运作下带动锥形齿轮旋转，锥形齿轮与环形齿相互啮合并带动盘体进行转动，随后盘体顶部的螺旋槽方便与滑座底部的齿牙相互啮合，使得滑座能够在底座顶部的滑孔中滑动位移，随后滑座方便带动夹板对晶圆硅片进行定位，方便后续对其进行加工，且电动调节的方式更为简单便捷，同时效率较高。
主权项：1.一种晶圆硅片用定位装置，其特征在于，包括底座1，所述底座1顶端表面开设有可用于调节的滑孔2，且滑孔2有四组，所述滑孔2内侧滑动安装有可用于调节的滑座3，且底座1内侧转动安装有可用于传动的盘体4，且盘体4顶端表面开设有与滑座3底端表面相契合连接的螺旋槽5，所述盘体4底端表面一体构造有可用于传动的环形齿6，所述滑座3顶端表面装配有可用于晶圆硅片定位的夹板12，所述底座1内侧通过螺栓装配有可用于转化扭矩的减速器A7，且减速器A7动力输出端装配有与环形齿6相啮合连接的锥形齿轮8；所述底座1顶端表面转动安装有可用于传动的转轴9，且转轴9顶端表面装配有可用于放置晶圆硅片的托盘10，所述底座1内侧装配有与转轴9相传动连接的减速器B11，所述减速器B11与减速器A7动力输入端均装配有伺服电机13。
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百度查询： 长沙里妍环保科技有限公司 一种晶圆硅片用定位装置
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