首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

加工条件取得方法、以及激光加工装置 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:浜松光子学株式会社

摘要:一种加工条件取得方法,取得:通过对于对象物,从第1面侧照射激光,用于在功能元件层形成弱化区域的激光加工的条件,该对象物具有包含所述第1面及所述第1面的相反侧的第2面的基板、设在所述基板的所述第2面的所述功能元件层,该加工条件取得方法具备:一边使在与所述第1面交叉的Z方向的所述激光的聚光位置在包含所述基板与所述功能元件层的界面的范围内变化,一边在所述第1面内的不同位置进行多次作为所述激光加工的第1加工的第1工序。

主权项:1.一种加工条件取得方法,其中,取得:通过对于对象物,从第1面侧照射激光,用于在功能元件层形成弱化区域的激光加工的条件,该对象物具有包含所述第1面及所述第1面的相反侧的第2面的基板、和设在所述基板的所述第2面的所述功能元件层,该加工条件取得方法具备:第1工序,一边使与所述第1面交叉的Z方向的所述激光的聚光位置在包含所述基板与所述功能元件层的界面的范围变化,一边在所述第1面内的不同位置进行多次作为所述激光加工的第1加工;第2工序,在进行了多次所述第1加工的所述第1面内的位置的各个,通过透射所述基板的透射光,从所述第1面侧拍摄所述基板与所述功能元件层的界面而取得界面图像;以及第3工序,将在所述第2工序取得的多个所述界面图像之中取得的包含有所述激光的伤害的所述界面图像的所述第1加工的所述Z方向的所述聚光位置的范围,作为所述激光加工的一个条件来取得。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浜松光子学株式会社 加工条件取得方法、以及激光加工装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。