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一种量子点发光二极管量子层蒸镀设备 

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申请/专利权人:江苏兴启航新材料科技有限公司

摘要:本发明公开了一种量子点发光二极管量子层蒸镀设备,包括:承重座、蒸镀室、蒸镀装置、导流装置、传输装置和真空泵,其中,蒸镀室设置在承重座的上方,蒸镀装置滑动设置在承重座上,导流装置和真空泵分别设置在蒸镀室上,且导流装置的储料端抵接在蒸镀装置的加热端上,导流装置的出气端和真空泵的进气端分别与蒸镀室互通,传输装置设置在蒸镀室内,并位于导流装置的出气端的上方。本发明实施例的一种量子点发光二极管量子层蒸镀设备,通过设置导流装置和传输装置之间的配合,一方面避免一部分的蒸镀材料扩散到除二极管以外的地方,另一方面有效减少蒸镀材料的浪费率,操作简单,实用性大。

主权项:1.一种量子点发光二极管量子层蒸镀设备,其特征在于,包括:承重座1、蒸镀室2、蒸镀装置3、导流装置4、传输装置5和真空泵6,其中,所述蒸镀室2设置在所述承重座1的上方;所述蒸镀装置3滑动设置在所述承重座1上;所述导流装置4和所述真空泵6分别设置在所述蒸镀室2上,且所述导流装置4的储料端抵接在所述蒸镀装置3的加热端上,所述导流装置4的出气端和所述真空泵6的进气端分别与所述蒸镀室2互通;所述传输装置5设置在所述蒸镀室2内,并位于所述导流装置4的出气端的上方;所述导流装置4包括:第一安装管41、转动管42、第二安装管43、储料盒44和间歇传动结构45,其中,所述第一安装管41的一端轴接设置在所述蒸镀室2内,并位于所述传输装置5的下方,且所述第一安装管41的另一端穿过所述蒸镀室2并延伸;所述转动管42与所述第一安装管41的延伸端处连通,并通过所述间歇传动结构45间歇转动;所述第二安装管43插接在所述转动管42内,且所述第一安装管41和所述第二安装管43内分别设置有过滤板411,两个所述过滤板411分别相互贴合;所述储料盒44设置在所述第二安装管43上,且所述第二安装管43的一端向所述储料盒44内延伸;其中,当所述第一安装管41转动到工作角度时,两个所述过滤板411分别重合,并形成互通,当所述第一安装管41转动到非工作角度时,两个所述过滤板411分别产生错位,并阻断互通。

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