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申请/专利权人：济南紫源电子有限公司
摘要：本实用新型公开了一种硅片清洗辅助装置，包括吹气底板、吹气侧板、静音型气泵和二通控制阀，吹气底板的顶端嵌设安装有三组第一单向出气帽，吹气侧板的一侧嵌设安装有三组第二单向出气帽，吹气底板的内部和吹气侧板的内部均固定安装有分叉连接管，两个分叉连接管的三个节点处均设置有吹气管路，位于吹气侧板内部的分叉连接管的一端固定安装有第二软性气管道，两个单向进气阀门的一端均固定设置有密封螺纹柱，本实用新型通过在吹气底板的一侧设置吹气侧板，通过静音型气泵以及第一软性气管道和第二软性气管道将压缩空气输送到第一单向出气帽和第二单向出气帽，便于在硅片的侧面以及底部进行吹气产生气泡，能够有效的清洗硅片。
主权项：1.一种硅片清洗辅助装置，包括吹气底板1、吹气侧板2、静音型气泵3和二通控制阀4，其特征在于，所述吹气侧板2的底端通过连接斜面与吹气底板1的一侧组合连接，所述吹气底板1的顶端嵌设安装有三组第一单向出气帽5，所述吹气侧板2的一侧嵌设安装有三组第二单向出气帽6，所述吹气底板1的内部和吹气侧板2的内部均固定安装有分叉连接管16，两个所述分叉连接管16的三个节点处均设置有吹气管路17，六个所述吹气管路17分别与对应的三组第一单向出气帽5和三组第二单向出气帽6连通，位于吹气底板1内部的所述分叉连接管16的一端固定安装有第一软性气管道8，位于吹气侧板2内部的所述分叉连接管16的一端固定安装有第二软性气管道9，所述第二软性气管道9的一端和第一软性气管道8的一端均固定安装有单向进气阀门11，两个所述单向进气阀门11的一端均固定设置有密封螺纹柱12，两个所述密封螺纹柱12的一端均二通控制阀4的出气孔螺纹连接，所述静音型气泵3的输出端通过管节与二通控制阀4连接。
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权利要求：
百度查询： 济南紫源电子有限公司 一种硅片清洗辅助装置
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