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申请/专利权人:江苏艾森半导体材料股份有限公司;艾森半导体材料(南通)有限公司
申请日:2024-06-27
公开(公告)日:2024-09-06
公开(公告)号:CN118605093A
专利技术分类:...所用的液体成分,例如,显影剂[2006.01]
专利摘要:本发明公开了显影液、制备方法及应用,其中显影液原料组成包括,wt%:0.5%四甲基氢氧化铵;1%‑10%缓蚀剂;1%‑10%稳定剂;余量为水。本发明的显影液中四甲基氢氧化铵的含量仅为0.5%,对铝的腐蚀速率<50Amin,且显影液的使用寿命期限至少可达七天。
专利权项:1.一种显影液,其原料组成包括,wt%:0.5%四甲基氢氧化铵;1%-10%缓蚀剂;1%-10%稳定剂;余量为水。
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