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申请/专利权人：厦门保视丽无尘科技有限公司

摘要：本发明公开了一种应用于半导体行业的PFA静电耗散管道，包括静电管道主体（9）及支撑结构，管道内设若干个导电金属片，可用于消除管道静电，通过金属编织层可增强静电管道主体的抗压性能以及支撑能力，并通过聚酰亚胺纤维阻燃硅胶层可为静电管道主体提供保温阻燃能力。通过橡胶柱座和橡胶球可为耐磨外管和抗压内管提供抗压支撑，以及橡胶柱座和橡胶球可呈圆环状分布，可分散耐磨外管和抗压内管的压力，为静电管道主体提供抗压保护。导电PFA采用单螺旋或者双股相向交叉方式，增加了导电面积，同时在管道圆周上是连续的，改变了传统的间断PFA导电条设计方案，抗静电效果更佳。特别的支撑机构设计增加了管道的稳定性等。

主权项：1.一种应用于半导体行业的PFA静电耗散管道，其特征在于，包括静电管道主体（9）及支撑结构；所述静电管道主体（9）包括耐磨外管（901）和抗压内管（902），以及位于耐磨外管（901）与抗压内管（902）之间的活动腔（903），所述抗压内管（902）包括聚酰亚胺纤维阻燃硅胶层（906），以及包裹在聚酰亚胺纤维阻燃硅胶层（906）外部的金属编织层（905），所述活动腔（903）的内部设置有若干个环状分布的导电金属片（904），所述导电金属片（904）呈“工”字形结构，所述活动腔（903）的内部还设置有若干组橡胶柱座（907），每组两个，其中一个所述橡胶柱座（907）与耐磨外管（901）粘接，另一个与抗压内管（902）粘接，两个所述橡胶柱座（907）之间连接有橡胶球（908），所述耐磨外管（901）的外部平行缠绕有导电PFA（909）；所述支撑结构包括支撑底板（1）、支撑底板（1）上方两侧的第一支撑块（2）和第二支撑块（4）、第一支撑块（2）上方的第一夹持板（3）、第二支撑块（4）上方的第二夹持板（5），以及位于第一夹持板（3）与第二夹持板（5）之间的静电管道主体（9），所述第一支撑块（2）与第二支撑块（4）之间设置有辅助夹持机构（6），所述第二夹持板（5）的右侧设置有压紧机构（7），所述第一夹持板（3）的左侧设置有锁止机构（8）；所述第一支撑块（2）的底部连接有支撑滑座（10），所述支撑滑座（10）的内部穿设有支撑底杆（11），所述支撑底杆（11）与支撑底板（1）固定连接，所述第二夹持板（5）底部的左侧固定有支撑横轴（12），所述支撑横轴（12）的左侧穿过第一夹持板（3）的底部。

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