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申请/专利权人：觉芯电子(无锡)有限公司
摘要：本申请提供一种MEMS微镜结构及MEMS微镜集成产品，MEMS微镜结构包括：反射镜；框架，用于承载所述反射镜，包括固定结构和可动框架；第一转轴结构，用于连接所述反射镜和所述可动框架，支持所述反射镜以所述第一转轴结构为轴线进行扭转运动；第二转轴结构，用于连接所述可动框架和所述固定结构，支持所述可动框架带动所述反射镜以所述第二转轴结构为轴线进行扭转运动；其中，所述第一转轴结构包括梁部主体及连接于所述梁部主体和反射镜之间的过渡连接端，所述过渡连接端的宽度不小于所述反射镜的二分之一短轴长度，所述梁部主体的宽度不小于所述过渡连接端的宽度；加固结构，位于反射镜和过渡结构背面，由直线段与曲线段首尾相连形成封闭结构。
主权项：1.一种MEMS微镜结构，其特征在于，包括：反射镜；框架，用于承载所述反射镜，包括固定结构和可动框架；第一转轴结构，用于连接所述反射镜和所述可动框架，支持所述反射镜以所述第一转轴结构为轴线进行扭转运动；第二转轴结构，用于连接所述可动框架和所述固定结构，支持所述可动框架带动所述反射镜以所述第二转轴结构为轴线进行扭转运动；其中，所述第一转轴结构包括梁部主体及连接于所述梁部主体和反射镜之间的过渡连接端，所述过渡连接端的宽度不小于所述反射镜的二分之一短轴长度，所述梁部主体的宽度不小于所述过渡连接端的宽度；加固结构，位于所述反射镜和所述过渡连接端背面，所述加固结构由直线段与曲线段首尾相连形成封闭结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 觉芯电子(无锡)有限公司 MEMS微镜结构及MEMS微镜集成产品
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