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申请/专利权人：芯联集成电路制造股份有限公司
摘要：本发明提供了一种麦克风的缺陷检测方法、监控结构及其制作方法，应用于半导体制备技术领域。在本发明中，可先在振膜和背板上分别形成沿衬底垂直方向投影交叠的第一露出窗口和第三露出窗口，以及投影交叠的第二露出窗口和第四露出窗口，然后再利用所述振膜和背板上所形成的露出窗口可以露出背腔的一个边界壁的方式，实现从衬底的正面进行缺陷扫描，便可同时扫描到位于衬底的背面的背腔内壁上的尖角和锯齿缺陷，以解决现有技术中从衬底的正面无法进行缺陷扫描，且其从衬底的背面所进行的缺陷扫描也仅能扫描到背腔内壁上的尖角缺陷，而无法扫描到锯齿缺陷的问题，即解决了传统缺陷扫描的限制、保证麦克风产品的可靠性，并最终提高良率。
主权项：1.一种监控结构，其特征在于，包括：衬底，包括相对设置的第一面和第二面，所述衬底的第二面内开设有背腔，所述背腔沿衬底平面方向具有相对设置的第一边界壁和第二边界壁；振膜，设置在所述衬底的第一面的表面上方，且包括沿衬底平面方向相互间隔排布的第一露出窗口和第二露出窗口；背板，设置在所述振膜上方，包括沿衬底平面方向相互间隔排布的第三露出窗口和第四露出窗口；其中，所述第一露出窗口与第三露出窗口在衬底垂直方向上的投影交叠，所述第二露出窗口和第四露出窗口在衬底垂直方向上的投影交叠，所述背腔的第一边界壁在衬底垂直方向上落入所述第一露出窗口和第三露出窗口内，所述背腔的第二边界壁在衬底垂直方向上落入所述第二露出窗口和第四露出窗口内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯联集成电路制造股份有限公司 麦克风的缺陷检测方法、监控结构及其制作方法
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