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申请/专利权人：化合积电(厦门)半导体科技有限公司
摘要：本发明提供了一种具有散热结构的碟片激光器的制备方法，包括：对硅片进行清洗，清洗后放入金刚石微粉溶液中进行超声、烘干后得到预处理的硅片；在预处理的硅片表面生长多晶金刚石；腐蚀掉硅衬底，得到多晶金刚石；对多晶金刚石依次进行研磨与抛光处理后；将抛光完的多晶金刚石的其中一面进行冷却水流通道的加工，得到第一多晶金刚石；重复以上步骤，得到第二多晶金刚石；将第一多晶金刚石与第二多晶金刚石进行键合处理，得到整体多晶金刚石；将整体多晶金刚石的表面与碟片激光器晶体结合，形成具有散热结构的碟片激光器。本发明可以提高碟片激光器激光功率上限，有效降低碟片激光器晶体的热变形。
主权项：1.一种具有散热结构的碟片激光器的制备方法，其特征在于，包括：步骤一、对硅片进行清洗，清洗后放入金刚石微粉溶液中进行超声处理，超声后取出烘干，得到预处理的硅片；步骤二、采用微波等离子化学气相沉积设备在预处理的硅片表面生长多晶金刚石，得到带多晶金刚石的硅片；步骤三、将带多晶金刚石的硅片放入强酸中腐蚀掉硅衬底，得到多晶金刚石；步骤四、对多晶金刚石依次进行研磨与抛光处理后，得到抛光完的多晶金刚石；步骤五、将抛光完的多晶金刚石的其中一面进行冷却水流通道的加工，得到第一多晶金刚石；步骤六、重复步骤一到步骤五，得到第二多晶金刚石；步骤七、将第一多晶金刚石与第二多晶金刚石进行键合处理，使第一多晶金刚石与第二多晶金刚石形成一个整体，得到整体多晶金刚石；步骤八、将整体多晶金刚石的表面与碟片激光器晶体结合，形成具有散热结构的碟片激光器。
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权利要求：
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