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光敏玻璃和光敏微晶玻璃 

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申请/专利权人:成都光明光电有限责任公司

摘要:本发明提供一种光敏玻璃,其组分按重量百分比表示,含有:SiO2:65~78%;ZrO2:1.5~10%;R2O+Li2O+Al2O3为15~30%;CeO2:0.01~0.6%;Ag2O:0.01~0.8%;Sb2O3+SnO2:0.05~1.2%,其中ZrO2Ag2O+CeO2为2.3~50.0,所述R2O为Na2O、K2O中的一种或两种。通过合理的组分设计,本发明的光敏玻璃具有较低的线膨胀系数;光敏玻璃经过掩膜曝光及热处理后,获得的光敏微晶玻璃形成的图案精度较高。本发明光敏微晶玻璃和光敏微晶玻璃制品具有优异机械性能。

主权项:1.光敏玻璃,其特征在于,其组分按重量百分比表示,含有:SiO2:65~78%;ZrO2:1.5~10%;R2O+Li2O+Al2O3:15~30%;CeO2:0.01~0.6%;Ag2O:0.01~0.8%;Sb2O3+SnO2:0.05~1.2%,其中ZrO2Ag2O+CeO2为2.3~50.0,所述R2O为Na2O、K2O中的一种或两种。

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权利要求:

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