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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明公开了一种确定半导体加工设备稼动率的方法和相关设备，下位机接收上位机发送的任务指令，响应该任务指令，控制半导体加工设备的相应硬件模块执行相应任务，并基于该任务指令，获得执行相应任务的任一硬件模块的状态数据标识和状态数据值，将硬件模块的状态数据值存储在与硬件模块的状态数据标识对应的存储空间中，该状态数据值用于供上位机根据硬件模块的状态数据值，获得该硬件模块的稼动率。因为下位机响应任务指令控制相应硬件模块执行相应任务时，相应的硬件模块必然处于与任务指令对应的状态，所以，基于任务指令获得的状态数据值可以准确地区分硬件模块的不同状态，进而可以基于状态数据值确定更准确的稼动率。
主权项：1.一种确定半导体加工设备稼动率的方法，其特征在于，应用于所述半导体加工设备的下位机，所述方法包括：接收上位机发送的任务指令；响应所述任务指令，控制所述半导体加工设备的相应硬件模块执行相应任务，并基于所述任务指令，获得执行所述相应任务的任一硬件模块的状态数据标识和状态数据值；将所述硬件模块的状态数据值存储在与所述硬件模块的状态数据标识对应的存储空间中，所述状态数据值用于供所述上位机根据所述硬件模块的状态数据值，获得所述硬件模块的稼动率。
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百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 一种确定半导体加工设备稼动率的方法和相关设备
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