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申请/专利权人：福州大学
摘要：本发明提供了一种超高分辨率Micro‑LED显示器件及其金属薄膜键合方法，Micro‑LED显示器件的驱动背板和Micro‑LED芯片阵列采用金属薄膜键合方法进行互联，所述Micro‑LED芯片阵列采用高阻GaN作为隔断和刻蚀保护层；所述Micro‑LED显示器件1个像素对应N个Micro‑LED发光阵列或Nano‑LED发光阵列，N大于或等于1。应用本技术方案可实现简化制备工艺流程，可以减少刻蚀工艺中可能会产生的边缘效应和尺寸效应。
主权项：1.一种超高分辨率Micro-LED显示器件，其特征在于，Micro-LED显示器件的驱动背板和Micro-LED芯片阵列采用金属薄膜键合方法进行互联，所述Micro-LED芯片阵列采用高阻GaN作为隔断和刻蚀保护层；所述Micro-LED显示器件1个像素对应N个Micro-LED发光阵列或Nano-LED发光阵列，N大于或等于1；所述高阻GaN包括采用选择性高能离子、电子、激光注入方法形成的高缺陷密度GaN和未激活的掺杂GaN。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福州大学 一种超高分辨率Micro-LED显示器件及其金属薄膜键合方法
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