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申请/专利权人：住友化学株式会社
摘要：氮化物半导体衬底，是具有2英寸以上的直径，并具有最近的低指数晶面为0001面的主面的氮化物半导体衬底，FWHM2{10－12}相对于FWHM1{10－12}的比率为80％以上。
主权项：1.一种氮化物半导体衬底，是具有2英寸以上的直径，并具有最近的低指数晶面为0001面的主面的氮化物半导体衬底，其中，FWHM2{10－12}相对于FWHM1{10－12}的比率为80％以上，其中，FWHM1{10－12}和FWHM2{10－12}分别是根据X射线摇摆曲线测量所测量的{10－12}面衍射的半峰全宽，在测量FWHM1{10－12}时的入射条件中，从Cu的X射线源，按顺序经由使X射线为平行光的X射线反射镜、Ge220二次反射单色器、和作为围绕测角仪旋转轴的旋转角方向的ω方向的宽度为1.4mm且与所述旋转轴平行方向的长度为12mm的入射侧开口，对于所述主面的中心照射Cu的Kα1的X射线，在测量FWHM1{10－12}时的光接收条件中，开启光接收侧狭缝且不经由分光晶体，通过具有所述ω方向的宽度为14.025mm的开口的探测器接收X射线，测量FWHM2{10－12}时的入射条件与测量FWHM1{10－12}时的入射条件同样，在测量FWHM2{10－12}时的光接收条件中，经由具有所述ω方向的宽度为6.54mm的入口开口的Ge220三次反射分光晶体，由所述探测器接收X射线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住友化学株式会社 氮化物半导体衬底、层叠结构体和氮化物半导体衬底的制造方法
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