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申请/专利权人：东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要：本申请提供一种扫描电子显微镜图像与设计版图的对齐方法、装置、系统、存储介质及程序产品，该方法包括：获取晶圆指定区域的扫描电子显微镜图像及其设计版图；提取扫描电子显微镜图像的轮廓图；将轮廓图与设计版图进行初步对齐，得到初步对齐结果；从设计版图中筛选出至少一个符合预设曝光差异条件的危险图形区域；基于初步对齐结果，从轮廓图中查找与危险图像区域对应的危险轮廓图像区域；基于设计版图中的剩余图形区域以及轮廓图中的剩余轮廓图像区域，对设计版图与轮廓图进行二次对齐，得到最终对齐结果。如此，通过忽视危险图形区域进行二次对齐，可以提高扫描电子显微镜图像与设计版图的对齐精度。
主权项：1.一种扫描电子显微镜图像与设计版图的对齐方法，其特征在于，包括：获取晶圆指定区域的扫描电子显微镜图像及其设计版图；提取所述扫描电子显微镜图像的轮廓图；将所述轮廓图与所述设计版图进行初步对齐，得到初步对齐结果；从所述设计版图中筛选出至少一个符合预设曝光差异条件的危险图形区域；基于初步对齐结果，从轮廓图中查找与所述危险图像区域对应的危险轮廓图像区域；基于所述设计版图中的剩余图形区域以及所述轮廓图中的剩余轮廓图像区域，对所述设计版图与所述轮廓图进行二次对齐，得到最终对齐结果，其中，所述剩余图形区域为所述设计版图中除危险图形区域外的其它图像区域，所述剩余轮廓图像区域为所述轮廓图中除所述危险轮廓图像区域外的其它图像区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 扫描电子显微镜图像与设计版图的对齐方法及装置
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