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一种非本征版图的高频等效电路模型的去嵌参数提取方法 

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申请/专利权人:华东师范大学

摘要:本发明公开了一种非本征版图的高频等效电路模型的去嵌参数提取方法,其特点是采用HFSS软件对分割得到的去嵌结构进行仿真,分步解析求解出各个寄生参数,该方法包括:搭建非本征版图和等效电路、将完整版图分割并重新相连,获得对应的Y参数矩阵、对各个版图进行电磁仿真,获得Y参数矩阵值和使用射频仿真软件ADS进行参数验证等步骤。本发明与现有技术相比具有准确、有效、完整提取所有参数,大大降低了出现无意义参数结果的概率,在实现过程中使用创新性的版图结构得到了去嵌结构,在10GHz‑300GHz的宽频带范围表现出极好的一致性,很好的保证了后续电路仿真的准确性和可靠性,同时也证实了多步参数提取方法的准确性和有效性。

主权项:1.一种非本征版图的高频等效电路模型的去嵌参数提取方法,其特征在于,采用HFSS软件对分割得到的去嵌结构进行仿真,分步解析求解各个寄生参数,该方法包括以下具体步骤:步骤1:搭建非本征版图的小信号等效电路模型搭建一个两栅指共源晶体管版图的非本征小信号等效电路,所述两栅指共源晶体管版图是在HFSS中搭建一个典型两栅指共源MOSFET版图,其两侧源极PAD与地相连,中间下方PAD为漏极,上方PAD为栅极,所述漏极有一根较宽的漏指,其两侧有两根较窄的栅指,且漏指的宽度为栅指的两倍;所述栅指和漏指通过梯形的抽头与各自的PAD相连并向外引出,且栅指、漏指和源极PAD为电极向内连接晶体管的中心抽头,获得其对应的非本征小信号等效电路,并将版图上的寄生电容划分为电极之间的寄生电容电导并联对Cgde,Ggde、Cgse,Ggse和Cdse,Gdse;以及PAD之间的寄生电容电导并联对Cgdp,Ggdp、Cgsp,Ggsp和Cdsp,Gdsp;将PAD和电极上的寄生电容区分开并分别进行解析提取,所述非本征小信号等效电路包括:经典等效电路中的电极寄生电阻电感对Rge,Lge、Rde,Lde和Rse,Lse;步骤2:将完整版图分割并重新相连,获得对应的Y参数矩阵2-1:将完整版图结构中的栅指和漏指电极去除,并对栅、漏和源PAD进行电磁仿真,提取各个PAD之间的寄生电容和电导,获得对应的Y参数矩阵,即PADS参数矩阵;2-2:将完整版图结构中的下半部分以及漏指电极去除,然后将上半部分镜像复制到下半部分,并将栅指电极延长连接到下半部分的栅PAD上,构成THRU1结构,获得对应的Y参数矩阵,即THRU1矩阵,并基于THRU1结构将栅指电极去除,得到THRU1_PAD结构,将其从THRU1结构中去嵌入,得到GATE参数;2-3:将完整版图结构中的上半部分以及栅指电极去除,然后将下半部分镜像复制到上半部分,并将漏指电极延长连接到上半部分的漏PAD上,构成THRU2结构,并基于THRU2结构将漏指电极去除,得到THRU2_PAD结构,将其从THRU2结构中去嵌入,得到DRAIN参数;2-4:将THRU结构与SHORT结构结合,在THRU1结构的一侧栅抽头处将两根栅指电极分别连接到两侧源PAD上,构成THRU1_SHORT结构,并将THRU1结构中去嵌入,得到SOURCE结构;2-5:对整体的无源版图结构提取剩下的电极间电容电导对Cgde,Ggde、Cgse,Ggse和Cdse,Gdse提取电极间寄生参数;步骤3:对各个版图进行电磁仿真,获得Y参数矩阵值对每个去嵌版图结构进行电磁仿真,并将电磁仿真的结果与矩阵的各项虚部和实部联立,得到对应的Y参数矩阵值;步骤4:使用射频仿真软件ADS进行参数验证将提取非本征版图的寄生参数在射频仿真软件ADS中搭建的等效电路模型中进行参数验证,并与HFSS全波电磁场仿真结果进行对比,以验证等效电路模型的准确性。

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