龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：渠梁电子有限公司
摘要：本发明涉及一种晶圆加工方法，尤其涉及一种释放层解离方法，其中，晶圆和载体之间包括释放层，释放层用于将晶圆和载体粘连在一起；其中，释放层解离方法包括：将晶圆背离载体的一面放置在基座上；提供压板，将压板贴合至载体背离晶圆的一面，并对载体背离晶圆的一面施加压力；同时，朝向释放层方向发射激光，直至释放层被解离。通过本发明的结构，可通过在对释放层进行激光解离时，借助压板持续对载体的一侧施压，使得载体所受的应力被转移，避免了晶圆或载体受损。
主权项：1.一种释放层解离方法，用于将晶圆与载体进行分离，其中，所述晶圆和所述载体之间包括释放层，所述释放层用于将所述晶圆和所述载体粘连在一起；其特征在于，所述释放层解离方法包括：将所述晶圆背离所述载体的一面放置在基座上；提供压板，将所述压板贴合至所述载体背离所述晶圆的一面，并对所述载体背离所述晶圆的一面施加压力；同时，朝向所述释放层方向发射激光，直至所述释放层被解离。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号