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申请/专利权人：天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
摘要：本发明公开了一种兼具高硬度、高耐磨性AlCrMoSiN梯度涂层的制备工艺，属于涂层技术领域。该梯度涂层是通过线性调节靶功率从而控制Mo含量呈梯度变化的，梯度涂层的靶功率调节范围为：下限为0.4kW、上限为0.7～1.2kW线性。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过调控Mo含量线性增加，制备出兼具高硬度、高耐磨性的梯度涂层。
主权项：1.一种兼具高硬度、高耐磨性AlCrMoSiN梯度涂层的制备工艺，其特征在于：该AlCrMoSiN梯度涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过线性调节靶功率从而控制Mo含量呈梯度变化；其中：靶材选取金属AlCrSi靶和CrMo靶；先在基体上沉积15～20min金属化合物CrN过渡层，再沉积AlCrSiN功能层，随后沉积AlCrMoSiN梯度涂层；沉积AlCrMoSiN梯度涂层时，本底真空度为6×10-3Pa以上，保持偏压-120～-150V占空比50％～60％，沉积压强为1.5～1.6Pa，开启AlCrSi靶和CrMo靶，AlCrSi靶功率保持恒定数值，其范围为1.1～1.2kW；CrMo靶功率为线性递增方式，其变化范围从下限0.4kW线性增加至上限0.6～1.5kW，通入Ar和N2；根据所需梯度涂层的厚度以及靶功率设置不同靶材开启时间及气体通入时间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) 兼具高硬度、高耐磨性AlCrMoSiN梯度涂层的制备工艺
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