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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种电子器件制造系统包括处理工具以及工具服务器，该工具服务器与该处理工具耦合，并包括通信节点和评估系统。该通信节点被配置为从评估系统获得一个或多个属性，以及提供监测装置，该监测装置包括基于该一个或多个属性的数据收集计划。该通信节点被进一步配置为将该监测装置与处理工具进行注册。该通信节点被进一步配置为基于该数据收集计划从该处理工具接收数据，以及向该评估系统发送接收到的该数据。
主权项：1.一种电子器件制造系统，包括：处理工具；以及工具服务器，所述工具服务器与所述处理工具耦合，并包括通信节点和评估系统，其中所述通信节点被配置为：从所述评估系统获得一个或多个属性；提供监测装置，所述监测装置包括基于所述一个或多个属性的数据收集计划；将所述监测装置与所述处理工具进行注册；基于所述数据收集计划从所述处理工具接收数据；以及向所述评估系统发送接收到的所述数据。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于在评估系统与制造系统之间进行互联的通信节点
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