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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：提供了一种概率上预测轮廓的轮廓概率预测方法，该轮廓概率预测方法包括：获取针对已经根据设计图像对其执行了工艺的晶片的图像的多个轮廓图像；根据该多个轮廓图像确定轮廓平均和轮廓标准偏差；基于该轮廓平均和该轮廓标准偏差，生成利用概率分布计算的概率分布图像；以及通过将该设计图像和该概率分布图像输入到概率预测模型，来深度学习训练概率预测模型。
主权项：1.一种用于概率上预测轮廓的轮廓概率预测训练方法，所述轮廓概率预测训练方法包括：获取针对已经根据设计图像对其执行了工艺的晶片的图像的多个轮廓图像；从所述多个轮廓图像确定轮廓平均和轮廓标准偏差；基于所述轮廓平均和所述轮廓标准偏差，生成表示概率分布的概率分布图像；以及使用所述设计图像和所述概率分布图像作为概率预测模型的输入，深度学习训练所述概率预测模型。
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