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申请/专利权人：湖南大学;湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
摘要：本发明公开了一种基于紫外固化薄膜的金属转移工艺及其应用。提供硬质硅基晶圆衬底，在光刻胶薄膜上曝光出设计的结构；在光刻胶显影液中进行显影，用氮气吹干，得到设计的光刻胶薄膜结构；在有设计结构的光刻胶薄膜结构表面进行金属化；在去除光刻胶溶液中浸泡，得到金属结构；将紫外固化树脂旋涂或滴涂在设计的金属结构上；使用LED紫外灯辐照金属结构上的液态紫外固化树脂原位固化，在液态的紫外固化树脂固化后，得到干净的紫外固化薄膜；将紫外固化薄膜进行剥离，得到嵌入式金属结构的紫外固化薄膜柔性衬底。本发明增强了金属结构与柔性衬底的界面稳定性，解决了金属结构与柔性衬底机械性能不匹配的问题以及转移过程中化学试剂的污染问题。
主权项：1.一种基于紫外固化薄膜的金属转移工艺，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：提供硬质硅基晶圆衬底，在衬底上旋涂光刻胶溶液，前烘得到光刻胶薄膜；步骤2：在光刻胶薄膜上曝光出设计的结构；步骤3：在光刻胶显影液中进行显影，用氮气吹干，得到设计的光刻胶薄膜结构；步骤4：在有设计结构的光刻胶薄膜结构表面进行金属化；步骤5：在去除光刻胶溶液中浸泡，得到设计的金属结构；步骤6：将紫外固化树脂旋涂或滴涂在设计的金属结构上；步骤7：使用LED紫外灯辐照金属结构上的液态紫外固化树脂原位固化，在液态的紫外固化树脂固化后，用乙醇溶液清洗，再用氮气吹干，得到干净的紫外固化薄膜；步骤8：将紫外固化薄膜进行剥离，得到嵌入式金属结构的紫外固化薄膜柔性衬底。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南大学 湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城) 一种基于紫外固化薄膜的金属转移工艺及其应用
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