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申请/专利权人：致茂电子(苏州)有限公司
摘要：本申请提供一种表面形貌检测系统，包含光源、第一分光镜、待测端物镜、参考端物镜、空间光调制器以及检测模块。所述光源用以提供标准光线。所述第一分光镜用以将标准光线分成第一光线与第二光线。所述待测端物镜用以将第一光线投射于待测表面，并接收待测表面反射的测试光线。所述参考端物镜用以将第二光线投射于参考表面，并接收参考表面反射的参考光线。所述空间光调制器用以接收参考光线，并依据修正参数修正参考光线。所述检测模块用以比对测试光线与修正后的参考光线，以计算待测表面的表面形貌。其中修正参数关联于待测端物镜与参考端物镜之间的镜头像差。
主权项：1.一种表面形貌检测系统，其特征在于，包含：一光源，用以提供一标准光线；一第一分光镜，用以将该标准光线分成一第一光线与一第二光线；一待测端物镜，用以将该第一光线投射于一待测表面，并接收该待测表面反射的一测试光线；一参考端物镜，用以将该第二光线投射于一参考表面，并接收该参考表面反射的一参考光线；一空间光调制器，用以接收该参考光线，并依据一修正参数修正该参考光线；以及一检测模块，用以比对该测试光线与修正后的该参考光线，以计算该待测表面的一表面形貌；其中该修正参数关联于该待测端物镜与该参考端物镜之间的一镜头像差。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 致茂电子(苏州)有限公司 表面形貌检测系统
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