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申请/专利权人：泉州装备制造研究所
摘要：本发明适用于偏振光学检测领域，提供了一种光学表面缺陷检测方法及系统。所述光学表面缺陷检测方法包括如下步骤：获取透射入光学元件表面的偏振态参数；利用所述偏振态参数的斯托克斯矢量计算出光学元件表面的透射穆勒矩阵散射分布曲线；依据所述透射穆勒矩阵散射分布曲线判断光学元件表面是否存在缺陷。本发明以偏振光入射至待测样品表面，通过入射和透射的36种偏振态组合，计算出光学元件待测区域穆勒矩阵，利用穆勒矩阵散射分布曲线实现对光学元件表面缺陷进行检测及分类。该方法检测灵敏度高，能够准确识别元件表面微米缺陷，同时具备出色的定量检测能力，包括缺陷的类别判定和尺寸测量。
主权项：1.一种光学表面缺陷检测方法，其特征在于，所述光学表面缺陷检测方法包括如下步骤：获取透射入光学元件表面的偏振态参数；利用所述偏振态参数的斯托克斯矢量计算出光学元件表面的透射穆勒矩阵散射分布曲线；依据所述透射穆勒矩阵散射分布曲线判断光学元件表面是否存在缺陷；依据所述透射穆勒矩阵散射分布曲线判断光学元件表面是否存在缺陷，之后还包括如下步骤：获取并绘制透射穆勒矩阵花样；实时监控所述透射穆勒矩阵花样并判断缺陷的类型；给出实时反馈；所述获取并绘制透射穆勒矩阵花样，具体包括如下步骤：建构出偏振光垂直透射入缺陷后形成的贝塞尔函数积分形式的夫琅和费衍射光场；结合递推关系式积分得到缺陷的衍射光场函数和光场强度函数；对“麻点”缺陷的衍射光强分布函数求导分析，得出衍射花样为明暗相间的衍射环；所述实时监控所述透射穆勒矩阵花样并判断缺陷的类型，包括如下步骤：识别所述透射穆勒矩阵花样中的衍射环参数；所述衍射环参数包括同心明环的半径、同心暗环的半径、明暗条纹数量和条纹宽度；用所述衍射环参数区分出主峰、旁瓣和次峰，用环形图像的旁瓣数和次峰宽度推导出缺陷尺寸；结合缺陷尺寸和预设的光学缺陷标准板，判断所述透射穆勒矩阵花样的类型。
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权利要求：
百度查询： 泉州装备制造研究所 一种光学表面缺陷检测方法及系统
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