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申请/专利权人：兰州空间技术物理研究所
摘要：本申请涉及航天空间推进技术领域，具体而言，涉及一种用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件，包括气路接头、绝缘陶瓷、气体分配器以及离子收集电极，其中：气体分配器通过紧固螺母固定在放电室的陶瓷后盖处；气体分配器的一端与绝缘陶瓷焊接密封，另一端与离子收集电极一体成型，将离子收集电极固定在放电室的内部；气路接头与绝缘陶瓷焊接密封。本申请简化了结构，便于安装与拆解，实现了高效电离，放电室内部设置有大面积圆形离子收集电极，保证足够的离子收集面积，同时允许射频电磁场有效进入放电室，本发明有利于射频阴极简化结构、增加电离效率和工质利用率。
主权项：1.一种用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件，其特征在于，包括气路接头、绝缘陶瓷、气体分配器以及离子收集电极，其中：所述气体分配器通过紧固螺母固定在放电室的陶瓷后盖处；所述气体分配器的一端与所述绝缘陶瓷焊接密封，另一端与所述离子收集电极一体成型，将所述离子收集电极固定在放电室的内部；所述气路接头与所述绝缘陶瓷焊接密封；所述离子收集电极为圆盘形，内部均匀设置有进气孔，进气孔与放电室的内壁夹角为50°-80°；所述放电室的前盖处设置有引出孔；所述气体分配器与稳压电源连接；环绕放电室设置有射频线圈；所述射频线圈通过匹配网络与射频电源连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 兰州空间技术物理研究所 一种用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件
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