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一种真空衰减法测试仪的集成气路结构 

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摘要:本实用新型提供了一种真空衰减法测试仪的集成气路结构,包括真空泵、用于放置待检测样品的检测腔体和压差变送器,还包括安装检测腔体和压差变送器的安装底板,所述的安装底板上还设有第一气路底板和第二气路底板,所述的第一气路底板的气孔与检测腔体、压差变送器、真空泵连接,所述的第一气路底板与第二气路底板之间设有第一电磁阀和第二电磁阀,所述的第二气路底板与压差变送器管路连接,与真空泵之间设有第三电磁阀,所述的第一气路底板上还设有用于破真空的第四电磁阀。本实用新型系统体积小,使测试仪的压力变化更明显,检测更灵敏。

主权项:1.一种真空衰减法测试仪的集成气路结构,包括真空泵(1)、用于放置待检测样品的检测腔体(2)和压差变送器(3),还包括安装检测腔体(2)和压差变送器(3)的安装底板(4),其特征在于:所述的安装底板(4)上还设有第一气路底板(5)和第二气路底板(6),所述的第一气路底板(5)的气孔与检测腔体(2)、压差变送器(3)、真空泵(1)连接,所述的第一气路底板(5)与第二气路底板(6)之间设有第一电磁阀(7)和第二电磁阀(8),所述的第二气路底板(6)与压差变送器(3)管路连接、与真空泵(1)之间设有第三电磁阀(9),所述的第一气路底板(5)上还设有用于破真空的第四电磁阀(11)。

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