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申请/专利权人：江苏蓝鲸新材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种单晶体制造的抛光后清洗设备，包括第一工作台和第二工作台，所述第一工作台上设置有清洗组件，所述第二工作台上设置有夹持组件，所述夹持组件包括夹爪，所述夹爪通过驱动单元轴向移动，将抛光后待清洗的单晶固定于清洗组件的清洗区域内。第二气泵动力输出端驱动限位爪与单晶体的前侧相抵接，同时随着限位爪的推动，单晶体的背侧与挡板相抵接，通过两个夹爪、挡板以及限位爪形成对单晶体固定的限位区域，最后启动第一电机和第二电机带动上部清洗盘和下部清洗盘的旋转，完成对单晶体的清洗，在清洗过程，提升了单晶体的稳定性，从而进一步提升清洗的精准性和清洗效率。
主权项：1.一种单晶体制造的抛光后清洗设备，其特征在于，包括第一工作台（1）和第二工作台（2），所述第一工作台（1）上设置有清洗组件，所述第二工作台（2）上设置有夹持组件，所述夹持组件包括夹爪（3），所述夹爪（3）通过驱动单元轴向移动，将抛光后待清洗的单晶固定于清洗组件的清洗区域内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏蓝鲸新材料有限公司 一种单晶体制造的抛光后清洗设备
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